翘板式RF-MEMS开关设计与工艺研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 刘茂哲 |
| 答辩日期 | 2008-04 |
| 文献子类 | 硕士 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 导师 | 叶甜春 ; 景玉鹏 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17491]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘茂哲. 翘板式RF-MEMS开关设计与工艺研究[D]. 中国科学院研究生院. 2008. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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