一种薄膜封装方法
文献类型：专利
| 作者 | 夏洋; 刘杰; 刘键; 冷兴龙; 屈芙蓉; 李超波 |
| 发表日期 | 2013-12-31 |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种薄膜封装方法，包括如下步骤：通过PECVD方法沉积有机功能层；通过脉冲流量PECVD方法沉积无机功能层，所述脉冲流量PECVD方法是将PECVD方法中的前驱体通过脉冲输入方式输入；沉积若干有机功能层和无机功能层交替结构的薄膜。实现了速度可控、快速沉积较高质量的薄膜。 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17780]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏洋,刘杰,刘键,等. 一种薄膜封装方法. 2013-12-31. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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