基于SEM图像的自动对焦技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 宗明成; 韩邦强 |
| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2017-08-01 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 英文摘要 | 针对SEM对焦技术对噪声敏感，计算量大，从而影响SEM自动对焦的准确性和实时性，提出一种基于SEM图像的自动对焦技术。该技术采用基于拉普拉斯高斯算子和局部方差相结合的对焦评价函数F_GLOG描述SEM的对焦状态；采用显著区提取和凸包法相结合的方法，自动提取SEM图像感兴趣区域。实验表明，与典型的对焦评价函数对比，本文提出的对焦评价函数F_GLOG可以有效抑制噪声，在SEM自动对焦过程中对SEM图像质量要求较低，在较少幅的帧平均情况下，仍然可以正常工作，可以提高自动对焦效率。针对不同的IC图形，采用本文的对焦窗口选取技术，对焦评价函数曲线灵敏度可以得到大幅度提高，尤其针对IC孤立线条，灵敏度可增加至6.8倍。 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18079]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宗明成,韩邦强. 基于SEM图像的自动对焦技术[J]. 微纳电子技术,2017. |
| APA | 宗明成,&韩邦强.(2017).基于SEM图像的自动对焦技术.微纳电子技术. |
| MLA | 宗明成,et al."基于SEM图像的自动对焦技术".微纳电子技术 (2017). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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