集成电路制造装备中采用射频电源作为等离子体发生器的核心部件，功率等级与工艺腔室及材料有关。当前晶圆尺寸普遍在12寸，所需的功率等级基本在1500W以上，因此迫切需要开发大功率的射频电源。本课题研究的大功率射频电源采用它激式、石英晶体稳频，可以产生固定频率的正弦波，功率输出级采用金属陶瓷四极管，效率高、输出功率大。该大功率射频电源主要是由射频信号源、二级晶体管放大、前级放大、功率输出、功率调节、控制信号输入、保护电路、滤波电路以及功率检测器组成。其中功率输出为E类射频功率放大电路，效率可达85%，功率调节采用开关式调压，可以实现从零到指定功率的连续调节，可靠性高。目前，本课题开发的大功率射频电源,已广泛应用于半导体工艺设备、LED与太阳能光伏行业、科学实验中的等离子体发生等领域。