随着半导体工业的发展，等离子体设备得到广泛应用，应用对象包括刻蚀、射频溅射、等离子增强化学气相淀积和物理气相沉积等。作为等离子体设备主要部件的射频电源，对整个等离子体设备的性能有着决定性的影响。功率放大器是射频电源的重要部件，功率放大器种类很多，基本分为A类、B类、C类、D类、E类这几种，其中前3类是线性放大；D类、E类属于开关类放大，效率很高，由于等离子体设备中的射频电源功率大，而且要求体积小，所以一般采用D类、E类放大。本文主要针对D类开关式功率放大器进行研究。首先分析了功率放大器的现状,阐明D类功率放大器与传统的模拟功放相比,更具有广阔的发展前景。然后对D类功率放大器的基本原理做了分析，D类放大器是由晶振信号通过高频变压器使上下两只晶体管获得反相的激励电压，使得两只晶体管交替开启，两路放大信号再通过变压器合成一路完整的输出信号功率放大器电路，D类放大器工作在开关状态,作为控制元件的晶体管本身消耗功率较低,功放的效率就高,可达90%以上,因此能较大地降低能源损耗,减小放大器体积。