原子层沉积系统的开发与应用
文献类型：成果
| 作者 | 孙清清; 李楠 ; 李超波; 夏洋; 陈波; 万军
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| 获奖日期 | 2017 |
| 文献子类 | 中国电子学会科学技术奖技术发明类 |
| 奖励等级 | 一等奖 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18488]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙清清,李楠,李超波,等. 原子层沉积系统的开发与应用. . 2017. |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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