浸没式光刻机对焦控制技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 段晨; 宗明成; 范伟; 孟璐璐 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2018-09-05 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19050]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段晨,宗明成,范伟,等. 浸没式光刻机对焦控制技术研究[J]. 光学学报,2018. |
| APA | 段晨,宗明成,范伟,&孟璐璐.(2018).浸没式光刻机对焦控制技术研究.光学学报. |
| MLA | 段晨,et al."浸没式光刻机对焦控制技术研究".光学学报 (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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