Novel 14-nm Scallop-Shaped FinFETs (S-FinFETs) on Bulk-Si Substrate
文献类型：期刊论文
| 作者 | Xu WJ(徐唯佳); Yin HX(殷华湘); Ma XL(马小龙); Hong PZ(洪培真); Xu M(许淼); Meng LK(孟令款) |
| 刊名 | Nanoscale Research Letters
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| 出版日期 | 2015-10-01 |
| 公开日期 | 2016-05-31 |
| 源URL | [http://10.10.10.126/handle/311049/15037]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Xu WJ,Yin HX,Ma XL,et al. Novel 14-nm Scallop-Shaped FinFETs (S-FinFETs) on Bulk-Si Substrate[J]. Nanoscale Research Letters,2015. |
| APA | 徐唯佳,殷华湘,马小龙,洪培真,许淼,&孟令款.(2015).Novel 14-nm Scallop-Shaped FinFETs (S-FinFETs) on Bulk-Si Substrate.Nanoscale Research Letters. |
| MLA | 徐唯佳,et al."Novel 14-nm Scallop-Shaped FinFETs (S-FinFETs) on Bulk-Si Substrate".Nanoscale Research Letters (2015). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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