本发明公开了一种堆叠纳米线制造方法，包括：步骤a，在衬底上形成硬掩模；步骤b，刻蚀衬底形成第一沟槽与鳍片；步骤c，在鳍片侧面形成侧墙；步骤d，刻蚀鳍片，在侧墙下方形成第二沟槽；步骤e，后处理鳍片，形成堆叠纳米线。依照本发明的堆叠纳米线制造方法，混合采用各向异性与各向同性刻蚀，在侧壁形成的侧墙保护下实现了选择性刻蚀，由此提高了堆叠纳米线的精度，有利于器件小型化。