Comprehensive investigation of the interfacial charges and dipole in GeOx/Al2O3 gate
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang YR(王艳蓉); Xiang JJ(项金娟) ; Yang H(杨红); Zhang J(张静); Zhao C(赵超); Ye TC(叶甜春); Wang WW(王文武); Zhou LX(周丽星); Wang XL(王晓磊); Ma XL(马雪丽)
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| 刊名 | Japanese Journal of Applied Physics
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| 出版日期 | 2018-09-18 |
| 文献子类 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.107/handle/172511/19213]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 作者单位 | 中国科学院微电子研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang YR,Xiang JJ,Yang H,et al. Comprehensive investigation of the interfacial charges and dipole in GeOx/Al2O3 gate[J]. Japanese Journal of Applied Physics,2018. |
| APA | Wang YR.,Xiang JJ.,Yang H.,Zhang J.,Zhao C.,...&Han K.(2018).Comprehensive investigation of the interfacial charges and dipole in GeOx/Al2O3 gate.Japanese Journal of Applied Physics. |
| MLA | Wang YR,et al."Comprehensive investigation of the interfacial charges and dipole in GeOx/Al2O3 gate".Japanese Journal of Applied Physics (2018). |
入库方式： OAI收割
来源：微电子研究所
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