Doubly clamped nanobeam as a piezoresistive mass sensor
文献类型:期刊论文
作者 | Jiao, JW ; Zhao, QB ; Yang, H ; Li, T ; Li, XX ; Wang, YL |
刊名 | 2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3
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出版日期 | 2007 |
页码 | 1168-1171 |
关键词 | FORCE MICROSCOPE CANTILEVERS |
ISSN号 | 1930-0395 |
通讯作者 | Jiao, JW, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Microsyst & Informat, State Key Lab Transducer Technol, 865 Changning Rd, Shanghai 200050, Peoples R China |
学科主题 | Engineering, Electrical & Electronic |
收录类别 | SCI |
语种 | 英语 |
公开日期 | 2011-12-17 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/38567] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统技术_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Jiao, JW,Zhao, QB,Yang, H,et al. Doubly clamped nanobeam as a piezoresistive mass sensor[J]. 2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3,2007:1168-1171. |
APA | Jiao, JW,Zhao, QB,Yang, H,Li, T,Li, XX,&Wang, YL.(2007).Doubly clamped nanobeam as a piezoresistive mass sensor.2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3,1168-1171. |
MLA | Jiao, JW,et al."Doubly clamped nanobeam as a piezoresistive mass sensor".2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3 (2007):1168-1171. |
入库方式: OAI收割
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