High-speed and large-scale electromagnetically actuated MEMS scanning-mirror - art. no. 683609
文献类型：期刊论文
| 作者 | Mu, CJ ; Zhang, FL ; Wu, YM |
| 刊名 | MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 卷号 | 6836页码:83609-83609 |
| ISSN号 | 0277-786X |
| 通讯作者 | Mu, CJ, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol, Natl Key Lab Microsyst Technol, Shanghai, Peoples R China |
| 学科主题 | Optics |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2011-12-17 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/38574]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统技术_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Mu, CJ,Zhang, FL,Wu, YM. High-speed and large-scale electromagnetically actuated MEMS scanning-mirror - art. no. 683609[J]. MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III,2008,6836:83609-83609. |
| APA | Mu, CJ,Zhang, FL,&Wu, YM.(2008).High-speed and large-scale electromagnetically actuated MEMS scanning-mirror - art. no. 683609.MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III,6836,83609-83609. |
| MLA | Mu, CJ,et al."High-speed and large-scale electromagnetically actuated MEMS scanning-mirror - art. no. 683609".MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III 6836(2008):83609-83609. |
入库方式： OAI收割
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