High-speed and large-scale electromagnetically actuated resonant MEMS optical scanner
文献类型：期刊论文
| 作者 | Mu,CJ ; Zhang,FL ; Wu,YM |
| 刊名 | CHINESE PHYSICS LETTERS
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 24期号:12页码:3574-3577 |
| ISSN号 | 0256-307X |
| 通讯作者 | Mu, CJ, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Micro Syst & Informat Technol, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Physics, Multidisciplinary |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2011-12-17 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/38601]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统技术_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Mu,CJ,Zhang,FL,Wu,YM. High-speed and large-scale electromagnetically actuated resonant MEMS optical scanner[J]. CHINESE PHYSICS LETTERS,2007,24(12):3574-3577. |
| APA | Mu,CJ,Zhang,FL,&Wu,YM.(2007).High-speed and large-scale electromagnetically actuated resonant MEMS optical scanner.CHINESE PHYSICS LETTERS,24(12),3574-3577. |
| MLA | Mu,CJ,et al."High-speed and large-scale electromagnetically actuated resonant MEMS optical scanner".CHINESE PHYSICS LETTERS 24.12(2007):3574-3577. |
入库方式： OAI收割
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