Fabrication of compact turning mirrors in silicon-on-insulator materials
文献类型：期刊论文
| 作者 | Wang, WH ; Tang, YZ ; Li, T ; Wu, YM ; Yang, JY ; Wang, YL |
| 刊名 | APPLIED OPTICS
 |
| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 44期号:12页码:2409-2415 |
| 关键词 | RIB WAVE-GUIDES CORNER-MIRRORS DEMULTIPLEXER |
| ISSN号 | 0003-6935 |
| 通讯作者 | Wang, WH, Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Microsyst & Informat Technol, State Key Lab Transducter Technol, Shanghai 200050, Peoples R China |
| 学科主题 | Optics |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2011-12-17 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/38697]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统技术_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Wang, WH,Tang, YZ,Li, T,et al. Fabrication of compact turning mirrors in silicon-on-insulator materials[J]. APPLIED OPTICS,2005,44(12):2409-2415. |
| APA | Wang, WH,Tang, YZ,Li, T,Wu, YM,Yang, JY,&Wang, YL.(2005).Fabrication of compact turning mirrors in silicon-on-insulator materials.APPLIED OPTICS,44(12),2409-2415. |
| MLA | Wang, WH,et al."Fabrication of compact turning mirrors in silicon-on-insulator materials".APPLIED OPTICS 44.12(2005):2409-2415. |
入库方式： OAI收割
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