EPITAXIAL SILICON ON ZIRCONIA (SOZ) PRESSURE SENSOR
文献类型：期刊论文
| 作者 | CHEN, QG ; WANG, WY |
| 刊名 | SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL
 |
| 出版日期 | 1991 |
| 卷号 | 28期号:2页码:153-156 |
| 关键词 | CUBIC ZIRCONIA SI |
| ISSN号 | 0924-4247 |
| 通讯作者 | CHEN, QG, ACAD SINICA,SHANGHAI INST MET,STATE KEY LABS TRANSDUCER TECHNOL,SHANGHAI 200050,PEOPLES R CHINA |
| 学科主题 | Engineering, Electrical & Electronic; Instruments & Instrumentation |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 英语 |
| 公开日期 | 2011-12-17 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/38784]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统技术_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | CHEN, QG,WANG, WY. EPITAXIAL SILICON ON ZIRCONIA (SOZ) PRESSURE SENSOR[J]. SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,1991,28(2):153-156. |
| APA | CHEN, QG,&WANG, WY.(1991).EPITAXIAL SILICON ON ZIRCONIA (SOZ) PRESSURE SENSOR.SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL,28(2),153-156. |
| MLA | CHEN, QG,et al."EPITAXIAL SILICON ON ZIRCONIA (SOZ) PRESSURE SENSOR".SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL 28.2(1991):153-156. |
入库方式： OAI收割
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