The surface energy and nano-adhesion behavior of some micro-component material in MEMS
文献类型：期刊论文
| 作者 | Xue, W ; Zheng, BR ; Zhang, M ; Xie, GX ; Wang, Q |
| 刊名 | ACTA PHYSICA SINICA
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| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 58期号:4页码:2518-2522 |
| 关键词 | THIN-FILM FORCE DEFORMATION ROUGHNESS |
| ISSN号 | 1000-3290 |
| 通讯作者 | Xie, GX, Tsinghua Univ, State Key Lab Tribol, Beijing 100084, Peoples R China |
| 学科主题 | Physics ; Multidisciplinary |
| 收录类别 | SCI |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-24 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/94829]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统技术_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Xue, W,Zheng, BR,Zhang, M,et al. The surface energy and nano-adhesion behavior of some micro-component material in MEMS[J]. ACTA PHYSICA SINICA,2009,58(4):2518-2522. |
| APA | Xue, W,Zheng, BR,Zhang, M,Xie, GX,&Wang, Q.(2009).The surface energy and nano-adhesion behavior of some micro-component material in MEMS.ACTA PHYSICA SINICA,58(4),2518-2522. |
| MLA | Xue, W,et al."The surface energy and nano-adhesion behavior of some micro-component material in MEMS".ACTA PHYSICA SINICA 58.4(2009):2518-2522. |
入库方式： OAI收割
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