半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡静涛
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| 刊名 | 系统仿真学报
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| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 22期号:8页码:1942-1946 |
| 关键词 | 半导体制造 两集束型装备 调度 线性规划模型 |
| ISSN号 | 1004-731X |
| 其他题名 | Scheduling Model and Its Algorithm for Two-cluster Tools with Single-blade Robot |
| 产权排序 | 1 |
| 通讯作者 | 李林瑛 |
| 中文摘要 | 针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备。证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模型,提出了基于LP模型和机器人无碰撞约束条件的搜索算法。以半导体制造化学机械抛光设备为例,验证了模型和算法的有效性。 |
| 英文摘要 | For the scheduling problem of single-blade two-cluster tools,a decomposition method was utilized to break two-cluster tools up into two independent single-cluster ones.The processing time for buffer modules of the decomposed single-cluster tool was proved to limit in an acceptance period of time.A Linear Programming (LP) model was built for single-cluster tool scheduling problem.An algorithm based on LP and no-collision constraint was proposed.Finally,the effectiveness of the proposed model and algorithm wa... |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 沈阳市科技计划(108155-2-00) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3982057 |
| 公开日期 | 2012-05-29 |
| 源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/6966]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业信息学研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡静涛. 半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究[J]. 系统仿真学报,2010,22(8):1942-1946. |
| APA | 胡静涛.(2010).半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究.系统仿真学报,22(8),1942-1946. |
| MLA | 胡静涛."半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究".系统仿真学报 22.8(2010):1942-1946. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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