多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李林瑛; 胡静涛
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| 刊名 | 计算机集成制造系统
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| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 16期号:1页码:109-114 |
| 关键词 | 半导体制造 多集束型装备 双臂机械手 缓冲加工模块 并行机 调度 |
| ISSN号 | 1006-5911 |
| 其他题名 | K wafer cycle sequence problem in multi-cluster tools scheduling |
| 产权排序 | 1 |
| 通讯作者 | 李林瑛 |
| 中文摘要 | 为解决机械手活动序列和产能分析这一半导体制造业多集束型装备调度的关键问题,研究了一类通用的多集束型装备机械手调度中的k晶圆周期序列问题,证明了k晶圆周期序列的平均周期下界。提出了一种构造k晶圆周期序列的策略和实现该策略的构造算法,并根据构造算法推导出了平均周期的表达式。最后,通过仿真数据和国内某Track机厂商的真实数据验证了该策略的优越性和实用性。 |
| 英文摘要 | To deal with the activity sequence of robot and the throughout analysis which were crucial for multi-cluster tools scheduling in semiconductor manufacturing,the k wafer cycle sequence problem in multi-cluster tools scheduling was studied.The lower bound of per wafer cycle time for k wafer cycle sequence was proved.The policy of k wafer cycle sequence and its construction algorithm were proposed,and the expression of per wafer cycle time was derived by the proposed algorithm.Finally,the superiority and the p... |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 资助信息 | 沈阳市科技计划资助项目(108155-02-00)~~ |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3818782 |
| 公开日期 | 2012-05-29 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/6970]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业信息学研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李林瑛,胡静涛. 多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题[J]. 计算机集成制造系统,2010,16(1):109-114. |
| APA | 李林瑛,&胡静涛.(2010).多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题.计算机集成制造系统,16(1),109-114. |
| MLA | 李林瑛,et al."多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题".计算机集成制造系统 16.1(2010):109-114. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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