有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李林瑛; 胡静涛
|
| 刊名 | 控制与决策
 |
| 出版日期 | 2011 |
| 卷号 | 26期号:1页码:37-43,48 |
| 关键词 | 半导体制造 集束型装备 在线调度 粒子群优化算法 滞留时间约束 晶圆 问题研究 调度问题 机械手 调度方法 |
| ISSN号 | 1001-0920 |
| 其他题名 | Online scheduling problem of cluster tools with residency time constraints |
| 产权排序 | 1 |
| 通讯作者 | 李林瑛 |
| 中文摘要 | 针对半导体制造中有滞留时间约束的集束型装备,研究了临时晶圆到达时的在线调度问题,描述了调度问题域,建立了问题的数学模型,并根据模型提出了两层调度方法.外层算法通过粒子群优化过程求解临时晶圆的加工顺序; 内层算法在给定加工顺序的基础上,采用前向和后向递推方法获得可行解空间,并从可行解空间获得最优完工时间.从理论上证明了算法的可行性,并通过仿真结果表明,该方法对求解大规模临时晶圆的调度问题是十分有效的. |
| 英文摘要 | For cluster tools with residency time constraints in semiconductor manufacturing, the online scheduling problem is addressed when temporary wafer arrives. On the basis of the statement domain of scheduling problem, mathematical formulations of the scheduling problems are presented. The two-layer method is proposed. The outer-layer algorithm denotes to solve the processing order of temporary wafer by particle swarm optimization, while the inner-layer one determines the start time of each station based on the... |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 资助信息 | 沈阳市科技计划项目(108155-2-00) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4128330 |
| 公开日期 | 2012-05-29 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/7052]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业信息学研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李林瑛,胡静涛. 有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究[J]. 控制与决策,2011,26(1):37-43,48. |
| APA | 李林瑛,&胡静涛.(2011).有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究.控制与决策,26(1),37-43,48. |
| MLA | 李林瑛,et al."有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究".控制与决策 26.1(2011):37-43,48. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。