组态软件技术在PECVD设备中的应用
文献类型：会议论文
| 作者 | 刘明哲 ; 金妮; 李正
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| 出版日期 | 2011 |
| 会议名称 | 2011 International Conference of Youth Communication |
| 会议日期 | July 22-24, 2011 |
| 会议地点 | Macau, CHINA |
| 关键词 | PECVD 组态软件 组态监控 |
| 页码 | 292-295 |
| 其他题名 | Application of Configuration Software Technology in PECVD |
| 中文摘要 | 介绍了等离子体增强化学气相淀积PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)半导体技术与工业自动化系统中组态软件监控技术的特点,提出了一种新型的组态软件监控画面组态方法,并将其应用到PECVD设备中。试验结果表明,组态监控技术对快速构建PECVD设备监控系统平台有重要意义,它有效解决了PECVD监控系统开发难度大、开发周期长以及系统可扩展性差等问题。 |
| 会议主办者 | Beijing University of Posts and Telecommunications; China Institute of Communications; Natural Science Foundation of China |
| 会议录 | Pproceedings of 2011 International Conference of Youth Communication
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| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/8448]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业信息学研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘明哲,金妮,李正. 组态软件技术在PECVD设备中的应用[C]. 见:2011 International Conference of Youth Communication. Macau, CHINA. July 22-24, 2011. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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