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基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究

文献类型:期刊论文

作者董再励; 曲艳丽; 周磊; 刘柱
刊名微纳电子技术
出版日期2011
卷号48期号:2页码:132-137
关键词光诱导介电泳 氢化非晶硅 光电导薄膜 自动化操作 ODEP芯片 虚拟电极 运动速度 聚苯乙烯 交流电压 实验研究
ISSN号1671-4776
其他题名Automatic Manipulation of Polystyrene Beads via Optically-Induced Dielectrophoresis
通讯作者王淑娥
中文摘要采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)制备了氢化非晶硅(a-Si∶H)光电导薄膜,并利用双面胶技术封装ODEP芯片。构建了包括光投影模块和视频监控模块的ODEP自动化操作实验平台。以聚苯乙烯微粒为操作对象,进行微米尺度粒子的ODEP自动化操作实验,并深入研究了交流电压、投射光颜色和光电极形状对微粒运动速度的影响。实验结果表明,在交流电压频率和投射光颜色相同的条件下,粒子的运动速度与交流电压的幅值成线性关系,施加的交流电压幅值越大,微粒的运动速度越大。在交流电压的幅值和频率相同的条件下,投射光为白色时,粒子的运动速度最大; 投射光为蓝色时,粒子的运动速度最小。当投射光为白光,电压为20V,频率为20kHz时,10μm和20μm聚苯乙烯微粒的最大运动速度分别为143μm/s和158μm/s。
资助信息机器人学国家重点实验室自主课题(2009Z02)
语种中文
公开日期2012-05-29
源URL[http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/7199]  
专题沈阳自动化研究所_机器人学研究室
推荐引用方式
GB/T 7714
董再励,曲艳丽,周磊,等. 基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究[J]. 微纳电子技术,2011,48(2):132-137.
APA 董再励,曲艳丽,周磊,&刘柱.(2011).基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究.微纳电子技术,48(2),132-137.
MLA 董再励,et al."基于光诱导介电泳的微粒自动化操作实验研究".微纳电子技术 48.2(2011):132-137.

入库方式: OAI收割

来源:沈阳自动化研究所

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