基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨洋 ; 周磊; 董再励; 曲艳丽
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| 刊名 | 微纳电子技术
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| 出版日期 | 2011 |
| 卷号 | 48期号:12页码:809-815 |
| 关键词 | 介电泳(DEP) 光刻技术 金纳米颗粒 纳米传感器 纳米器件的组装与装配 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 其他题名 | Fabrication Method of Gold Nanoparticle Sensors Based on the DEP Mechanism |
| 通讯作者 | 王淑娥 |
| 中文摘要 | 研究了一种基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法。在分析介电泳工作原理的基础上,利用Comsol Multiphysics仿真软件,对平面微电极条件下所产生的空间电场进行了建模仿真,研究了金纳米粒子极化模型及相关介电泳频谱特性。设计加工了基于光刻标准工艺和引线键合技术的平面微电极阵列,构建了具有三维位移平台和视频监控装置的介电泳装配实验平台。以250nm金颗粒为实验对象,在理论分析基础上,完成了在微电极阵列上的介电泳组装实验研究,并通过电特性测量验证了组装结果。实验结果表明:金纳米颗粒的介电泳组装效果与介质溶液的电导率、电场频率和幅度、金纳米粒子浓度、电极间隙及作用时间有关,在适宜的条件下,采用介电泳技术可实现对金纳米颗粒的有效操控和纳米器件装配,该方法为纳米传感器的制造提供了一种有效途径。 |
| 资助信息 | 机械人学国家重点实验室自主课题(2009Z02); 中国科学院、国家外国专家局创新团队国际合作伙伴计划资助项目 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-05-29 |
| 源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/7201]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨洋,周磊,董再励,等. 基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法[J]. 微纳电子技术,2011,48(12):809-815. |
| APA | 杨洋,周磊,董再励,&曲艳丽.(2011).基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法.微纳电子技术,48(12),809-815. |
| MLA | 杨洋,et al."基于介电泳机理的金纳米颗粒传感器装配方法".微纳电子技术 48.12(2011):809-815. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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