面向SWCNT-FET制造的介电泳装配技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴成东; 许可; 田孝军 ; 董再励
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| 刊名 | 东北大学学报(自然科学版)
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| 出版日期 | 2011 |
| 卷号 | 32期号:8页码:107-116 |
| 关键词 | 单壁碳纳米管 场效应晶体管 介电泳 COMSOL软件 原子力显微镜 纳电子器件 装配技术 微电极 电场强度分布 非均匀电场 |
| ISSN号 | 1005-3026 |
| 其他题名 | Assembly of Single-Walled Carbon Nanotube Field-Effect Transistor Using Dielectrophoresis |
| 产权排序 | 2 |
| 通讯作者 | 吴成东 |
| 中文摘要 | 针对单壁碳纳米管(SWCNT)场效应晶体管(FET)制造过程中面临的SWCNT装配问题,采用介电泳技术实现SWCNT在微电极上的有效装配.对SWCNT在非均匀电场中所受到的介电泳力进行了相关理论分析,利用COMSOL多物理场耦合软件模拟了介电泳驱动电场,并做了大量装配实验,获得了高效装配SWCNT所需的实验参数.AFM扫描观测及电特性测试验证了这种方法的有效性,同时也为其他一维纳米材料纳电子器件的装配制造提供了借鉴. |
| 英文摘要 | With respect to the assembly of carbon nanotube field-effect transistors,the dielectrophoresis technology was used to assemble single-walled carbon nanotubes(SWCNTs) between micro-electrodes.The dielectrophoretic force driving SWCNTs in a non-uniform electric field was analyzed theoretically.The driving electric field of dielectrophoresis was simulated by the COMSOL software.A number of experiments were carried out,with the required experimental parameters for efficient assembling of SWCNTs obtained.AFM sca... |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金重点资助项目(60635040) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4299245 |
| 公开日期 | 2012-05-29 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/7233]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴成东,许可,田孝军,等. 面向SWCNT-FET制造的介电泳装配技术[J]. 东北大学学报(自然科学版),2011,32(8):107-116. |
| APA | 吴成东,许可,田孝军,&董再励.(2011).面向SWCNT-FET制造的介电泳装配技术.东北大学学报(自然科学版),32(8),107-116. |
| MLA | 吴成东,et al."面向SWCNT-FET制造的介电泳装配技术".东北大学学报(自然科学版) 32.8(2011):107-116. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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