纳米级微动平台的结构力学特性及实验研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 丁晓辉; 董再励 ; 刘柱; 魏阳杰
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| 刊名 | 机器人
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| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 32期号:3页码:321-325 |
| 关键词 | 微动平台 结构力学 有限元方法 压电陶瓷驱动器 |
| ISSN号 | 1002-0446 |
| 其他题名 | Structure Mechanics Characteristics and Experiment of the Micro-motion Stage with Nanometer Resolution |
| 产权排序 | 1 |
| 通讯作者 | 丁晓辉 |
| 中文摘要 | 为了实现2维非耦合纳米驱动控制,介绍了一种基于压电陶瓷驱动和柔性筋板导向的一体化新型纳米级微动平台的结构设计.重点介绍了运用解析计算方法对平台结构力学特性的分析研究,得出了该平台导向筋板弱截面处的最大应力以及主体机构的基频值,并通过有限元仿真验证了解析计算结果的正确性.最后,采用显微视觉技术,进行了微动平台动态运动性能的测试实验,给出了平台的动态输入输出特性曲线. |
| 英文摘要 | In order to achieve nano-level driving control which is 2-DOF uncoupled,the structure of the nano-level inte-grated micro-motion stage based on oriented slabs and piezoelectric actuators is designed.The structure mechanics charac-teristics of the stage are emphatically studied by analytic calculation.For the stage,the maximum stress of weak section of oriented slab and fundamental frequency of the main-body are obtained.Then the results of analytic calculation are proved by finite element simulation.Finally... |
| 收录类别 | EI ; CSCD |
| 资助信息 | 国家自然科学基金资助项目(60635040) |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:3943007 |
| 公开日期 | 2012-05-29 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/7235]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 丁晓辉,董再励,刘柱,等. 纳米级微动平台的结构力学特性及实验研究[J]. 机器人,2010,32(3):321-325. |
| APA | 丁晓辉,董再励,刘柱,&魏阳杰.(2010).纳米级微动平台的结构力学特性及实验研究.机器人,32(3),321-325. |
| MLA | 丁晓辉,et al."纳米级微动平台的结构力学特性及实验研究".机器人 32.3(2010):321-325. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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