基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡静涛
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| 刊名 | 计算机测量与控制
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 20期号:6页码:1558-1561 |
| 关键词 | 化学机械研磨 T-S模糊模型 批次控制 预测控制 克隆选择 |
| ISSN号 | 1671-4598 |
| 其他题名 | Fuzzy Model Based Intelligent R2R Predictive Control to CMP Process |
| 产权排序 | 1 |
| 中文摘要 | 针对化学机械研磨(CMP)过程非线性、时变和产品质量不易在线测量的特性,提出了一种基于T-S模糊模型的CMP过程智能run-to-run(R2R)预测控制器FIPR2R;通过G-K聚类算法和最小二乘法对CMP过程的T-S模糊预测模型离线辨识,解决了复杂CMP过程难以建立精确数学模型的难题和提高了模型预测精度;通过双指数加权移动平均(dEWMA)中对过程扰动及漂移进行估计的方法实现反馈校正和基于克隆选择算法的滚动优化求取最优控制律,提高了控制精度;性能分析结果表明,FIPR2R控制器的控制性能优于dEWMA方法,有效抑制了过程扰动和漂移的影响。 |
| 英文摘要 | For chemical mechanical polishing (CMP) process characteristics of nonlinear,time-varying and not being in-situ measured easily,a CMP process intelligent run-to-run (R2R) predictive controller named FIPR2R is proposed.CMP process T-S fuzzy predictive model off-line identified by G-K clustering algorithms and least squares method solves difficult problem of constructing accurate mathematical model of complicated CMP and reduces model error.Feedback correction is achieved from disturbances and drifts estimate... |
| 收录类别 | CSCD |
| 资助信息 | 国家科技重大专项基金(2009ZX02008-003,2009ZX02001-005)资助;; 沈阳市科技项目(108155-2-00)资助 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:4597326 |
| 公开日期 | 2012-12-28 |
| 源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/10326]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_信息服务与智能控制技术研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡静涛. 基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法[J]. 计算机测量与控制,2012,20(6):1558-1561. |
| APA | 胡静涛.(2012).基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法.计算机测量与控制,20(6),1558-1561. |
| MLA | 胡静涛."基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法".计算机测量与控制 20.6(2012):1558-1561. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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