扫描镜设计与精度分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 汪逸群 ; 颜昌翔
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| 刊名 | 电子测量与仪器学报
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| 出版日期 | 2012-12-15 |
| 期号 | 12页码:1062-1068 |
| 关键词 | 扫描镜 运动补偿 速度精度 谐波减速器 步进电机 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28011]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪逸群,颜昌翔. 扫描镜设计与精度分析[J]. 电子测量与仪器学报,2012(12):1062-1068. |
| APA | 汪逸群,&颜昌翔.(2012).扫描镜设计与精度分析.电子测量与仪器学报(12),1062-1068. |
| MLA | 汪逸群,et al."扫描镜设计与精度分析".电子测量与仪器学报 .12(2012):1062-1068. |
入库方式： OAI收割
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