二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 熊木地 ; 张慧敏 ; 肖文礼 ; 邢忠宝 |
| 刊名 | 光电工程
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| 出版日期 | 2001-04-28 |
| 期号 | 02页码:4-6+18 |
| 关键词 | 二元光学 激光直写 主轴伺服控制 速度控制 自适应控制 |
| 公开日期 | 2013-03-11 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29431]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊木地,张慧敏,肖文礼,等. 二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法[J]. 光电工程,2001(02):4-6+18. |
| APA | 熊木地,张慧敏,肖文礼,&邢忠宝.(2001).二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法.光电工程(02),4-6+18. |
| MLA | 熊木地,et al."二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法".光电工程 .02(2001):4-6+18. |
入库方式： OAI收割
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