半导体设备前端模块关键技术的研究与应用
文献类型：学位论文
| 作者 | 褚金钱 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2013-05-28 |
| 授予单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 导师 | 徐方 |
| 关键词 | 装载端口 预对准 坐标系标定 |
| 其他题名 | Research and Application of Key Technologies for Semiconductor Equipment Front-end Module |
| 学位专业 | 控制理论与控制工程 |
| 中文摘要 | 在前人研究成果的基础上，依托新松公司承担的300mm IC生产线自动物料搬运系统研发与应用 (2011ZX02107) 国家科技重大专项，对半导体设备前端模块关键技术进行了研究。首先，针对传统装载端口动作执行繁琐等缺点提出将平行四连杆机构和曲柄滑块机构串联起来作为装载端口开盒装置、映射定位系统的驱动机构，在理论推导、运用Solidworks与Matlab联合仿真的基础上验证机构设计的可行性。接着，建立预对准装置的晶圆边缘几何模型、晶圆边缘数据采集模型，编写缺口定位误差识别的Matlab仿真程序，在理论推导、实验仿真以及精度测试实验的基础上研究误差识别的影响因素。 最后本文利用误差转化的方法提出多种方案以实现预对准系统自身与相对坐标系的综合标定，运用SolidWorks Flow Simulation仿真来研究半导体设备前端模块内空间布局对气流分布的影响。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-08-19 |
| 页码 | 67页 |
| 分类号 | TN47 |
| 源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/10772]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_其他 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 褚金钱. 半导体设备前端模块关键技术的研究与应用[D]. 中国科学院沈阳自动化研究所. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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