半导体装备物料传输软件平台研究与开发
文献类型：学位论文
| 作者 | 王亚楠 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2013-05-28 |
| 授予单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 导师 | 刘明哲 |
| 关键词 | 半导体装备 软件平台 工厂自动化 物料传输系统 |
| 其他题名 | Research and Development of Material Transfer Software Platform in IC Equipment Controlling System |
| 学位专业 | 计算机应用技术 |
| 中文摘要 | 以半导体装备制造过程中的重要组成部分物料传输系统作为研究对象，设计和实现了半导体装备物料传输软件平台。首先对大多数半导体装备生产厂商物料传输系统的通用需求做了分析，在此需求分析的基础上根据标准性和通用性的原则设计软件平台的系统架构。然后对软件的功能架构进行了模块化的划分，将具备不同功能的模块独立开发，提高软件的复用性。最后使用面向对象的语言C++编程实现。为验证软件平台的适用性，使用大气机械手和真空机械手构成的物料传输平台对系统的进行了测试与验证，结果显示基于物料传输软件平台能够快速完成实验平台控制软件的开发。本文还考虑物料传输系统在工厂应用中对工厂自动化的支持，并严格遵循SEMI国际标准对半导体装备控制软件的开发过程的相关定义。本课题的研究对于帮助企业在已有物料传输软件平台的基础上根据自身需求进行快速的二次开发，提高开发效率，降低开发成本，缩短我国在通用性半导体装备系统的研究方面与国际上的差距，具有十分重要的意义。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2013-08-19 |
| 页码 | 70页 |
| 分类号 | TN805 |
| 源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/10737]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业控制网络与系统研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王亚楠. 半导体装备物料传输软件平台研究与开发[D]. 中国科学院沈阳自动化研究所. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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