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AFM扫描图像重构算法的改进

文献类型:期刊论文

作者袁帅; 董再励; 缪磊; 王越超
刊名纳米技术与精密工程
出版日期2009
卷号7期号:3页码:259-264
关键词原子力显微镜 多孔铝薄膜 探针盲建模 数学形态学 扫描图像
ISSN号1672-6030
其他题名Improvement of Reconstruction Algorithm of AFM Scanning Images
产权排序1
英文摘要

针对原子力显微镜(AFM)纳米成像中存在的失真问题,研究了通过探针建模实现AFM扫描图像重构方法.目前探针盲建模算法在重构AFM图像时存在较大误差,因此提出基于探针模型预估计的AFM扫描图像重构方法.该方法采用分区探针针尖建模,并通过基于该探针模型的反卷积运算实现AFM扫描图像重构,获得比较接近真实形貌的AFM扫描图像.文中介绍了算法的具体步骤,通过仿真和实验结果证明,该方法能够有效降低AFM图像重构时引入的误差,得到的图像更能反映样品表面真实的形貌。

语种中文
CSCD记录号CSCD:3531378
资助机构国家高技术研究发展计划(863)项目(2009AA03Z316) ; 国家自然科学基金重点项目(60635040) ; 辽宁省博士启动基金资助项目
公开日期2010-11-29
源URL[http://210.72.131.170//handle/173321/2387]  
专题沈阳自动化研究所_机器人学研究室
通讯作者袁帅
作者单位1.中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室
2.密歇根州立大学电子和计算机工程系
3.中国科学院研究生院
推荐引用方式
GB/T 7714
袁帅,董再励,缪磊,等. AFM扫描图像重构算法的改进[J]. 纳米技术与精密工程,2009,7(3):259-264.
APA 袁帅,董再励,缪磊,&王越超.(2009).AFM扫描图像重构算法的改进.纳米技术与精密工程,7(3),259-264.
MLA 袁帅,et al."AFM扫描图像重构算法的改进".纳米技术与精密工程 7.3(2009):259-264.

入库方式: OAI收割

来源:沈阳自动化研究所

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