机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 田孝军 ; 王越超; 董再励; 李文荣
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| 刊名 | 仪器仪表学报
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 28期号:7页码:1223-1228 |
| 关键词 | 驱动器驱动 探针定位 复现扫描轨迹 运动学耦合误差 悬臂变形 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 其他题名 | Actuator actuating and probe positioning of robotic nanomanipulation system |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 对基于AFM的机器人化纳米操作系统而言,一个关键问题是如何实现纳米操作时探针的高精度驱动与定位。对此,本文基于对压电陶瓷驱动器的迟滞/非线性特性及现有驱动方法的详细分析,提出"基于复现扫描轨迹的驱动方法"来对操作时的驱动器进行驱动;另外,还对管式驱动器弯曲运动所产生的运动学耦合误差、探针悬臂变形所引起的针尖偏移误差进行了定量分析与补偿。采用上述驱动方法及进行误差补偿后,可以大大提高探针的定位精度,从而使纳米操作与装配得以高精度进行。纳米刻画实验验证了该新型驱动方法及误差补偿的有效性。 |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:2838479 |
| 资助机构 | 国家自然基金(60635040，60575060，60575050) ; 863计划(2006AA042320) ; 辽宁省优秀青年科研人才培养基金(2005220025)资助项目 |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/2655]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 通讯作者 | 田孝军 |
| 作者单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 田孝军,王越超,董再励,等. 机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究[J]. 仪器仪表学报,2007,28(7):1223-1228. |
| APA | 田孝军,王越超,董再励,&李文荣.(2007).机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究.仪器仪表学报,28(7),1223-1228. |
| MLA | 田孝军,et al."机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究".仪器仪表学报 28.7(2007):1223-1228. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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