机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 田孝军 ; 王越超; 董再励
|
| 刊名 | 仪器仪表学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 28期号:S页码:37-40 |
| 关键词 | 机器人 纳米刻画 刻痕尺寸模型 软朔性材料 Afm探针 |
| ISSN号 | 0254-3087 |
| 其他题名 | Study on modeling and real-time display of AFM based robotic nano-imprint |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 利用AFM探针刻画方式可进行MEMS掩膜图案等的制备与修复研究,本文针对软朔性材料,建立了AFM探针刻画时的刻痕尺寸模型,依据该模型及探针的实际受力与位置信息,可得到刻痕的实时位置与尺寸,并借助虚拟现实技术将刻画过程实时显示在视觉界面上。在上述研究基础上,操作者可在线控制纳米刻画的过程及结果,对聚酯基片的纳米刻画实验初步验证了上述模型的有效性。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-11-29 |
| 源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/2665]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 作者单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 田孝军,王越超,董再励. 机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究[J]. 仪器仪表学报,2007,28(S):37-40. |
| APA | 田孝军,王越超,&董再励.(2007).机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究.仪器仪表学报,28(S),37-40. |
| MLA | 田孝军,et al."机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究".仪器仪表学报 28.S(2007):37-40. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。