纳电子器件制备的单根碳纳米管精确装配与电连接研究
文献类型:期刊论文
作者 | 田孝军![]() ![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
刊名 | 电子显微学报
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出版日期 | 2006 |
卷号 | 25期号:6页码:490-493 |
关键词 | 介电电泳 原子力显微镜纳米操作 单根碳纳米管 精确装配 电连接 |
ISSN号 | 1000-6281 |
其他题名 | Study on single CNT's accurate assembly and electrical contact for fabricating nanoelectronic device |
产权排序 | 1 |
英文摘要 | 目前,利用单根碳纳米管进行纳电子器件的研制成为纳电子学界研究的前沿与热点,但在纳电子器件研制过程中,如何实现单根碳纳米管与微电极的精确装配与电连接成为关键技术难题之一。为探索实现此关键技术的新方法,本文尝试将介电电泳与具有实时力/视觉反馈的原子力显微镜操作方法相结合,从而结合粗、精两级操作方式,来实现单根碳纳米管的精确装配与电连接。单根多壁碳纳米管的精确装配与电特性测试实验验证了该方法的有效性,从而为装配研制基于单根纳米管/线的纳电子器件提供了一种新颖可行的方法。 |
语种 | 中文 |
CSCD记录号 | CSCD:2658358 |
资助机构 | 国家自然科学基金资助项目(No.60575060,No.60575050) ; 辽宁省优秀青年科研人才培养基金项目(No.2005220025).~~ |
公开日期 | 2010-11-29 |
源URL | [http://210.72.131.170//handle/173321/2713] ![]() |
专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
通讯作者 | 田孝军 |
作者单位 | 1.中国科学院研究生院 2.中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 田孝军,王越超,董再励,等. 纳电子器件制备的单根碳纳米管精确装配与电连接研究[J]. 电子显微学报,2006,25(6):490-493. |
APA | 田孝军,王越超,董再励,刘连庆,于鹏,&李文荣.(2006).纳电子器件制备的单根碳纳米管精确装配与电连接研究.电子显微学报,25(6),490-493. |
MLA | 田孝军,et al."纳电子器件制备的单根碳纳米管精确装配与电连接研究".电子显微学报 25.6(2006):490-493. |
入库方式: OAI收割
来源:沈阳自动化研究所
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