基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法
文献类型：专利
| 作者 | 刘连庆 ; 施佳林; 于鹏; 苏全民
|
| 发表日期 | 2020-02-07 |
| 著作权人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 产权排序 | 1 |
| 其他题名 | Peak force tapping and torsional resonance combination method based on atomic force microscope technology |
| 英文摘要 | 本发明涉及基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法。使用峰值力轻敲模式(Peak Force Tapping mode)和扭转共振模式(Torsional Resonance mode)的复合模式来进行成像和样本物性测量及表征，利用峰值力轻敲模式控制针尖与样品之间的相互作用，在峰值力轻敲模式工作的同时利用转共振模式测量样品横向物理特性。本发明弥补了扭转共振模式对样品有特殊要求的缺陷，也解决了扭转共振模式下针尖与样品的垂直相互作用力大的问题。 |
| 公开日期 | 2021-04-13 |
| 申请日期 | 2019-11-18 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 有权 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/26269]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 作者单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘连庆,施佳林,于鹏,等. 基于原子力显微镜技术的峰值力轻敲与扭转共振复合方法. 2020-02-07. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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