原子力显微镜一体化双探针快速原位切换测量方法与装置
文献类型：专利
| 作者 | 刘连庆 ; 于鹏; 施佳林
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| 发表日期 | 2021-06-15 |
| 著作权人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明涉及原子力显微镜一体化双探针快速原位切换测量方法与装置，包括铰链结构、两个悬臂梁、以及悬臂梁自由端设置的针尖构成的双探针；所述铰链结构为U字型本体，两个末端分别延伸有第一悬臂梁和第二悬臂梁，第一悬臂梁自由端和第二悬臂梁自由端分别设有第一针尖和第二针尖。本发明采用一体化双探针，利用探针夹的驱动功能驱动工作探针工作，因此只需要一套原子力显微镜的运动控制及测量系统就能够实现双探针快速的探针原位切换功能。 |
| 申请日期 | 2020-09-16 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/29077]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_机器人学研究室 |
| 作者单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘连庆,于鹏,施佳林. 原子力显微镜一体化双探针快速原位切换测量方法与装置. 2021-06-15. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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