一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法
文献类型：专利
| 作者 | 金妮 ; 徐皑东; 刘明哲; 张吉龙; 王晨曦; 王锴; 王志平; 闫炳均; 胡波
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| 发表日期 | 2020-10-27 |
| 著作权人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 产权排序 | 1 |
| 英文摘要 | 本发明涉及一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法，装置包括控制器、LK‑G30传感头、LK‑G500传感头、电源模块和上位机；方法包括在一个周期内，设定机械手的若干个设定位置，控制机械手运动到达设定位置，并通过LK‑G500传感头采样当前设定位置的到位信息，经过多个周期后得到到位信息数据集，分析到位信息数据集后提取到位信息特征值；设定晶圆的若干个设定转速，控制晶圆旋转达到设定转速，并通过LK‑G30传感头采样不同设定转速下的端跳数据，分析端跳数据集后提取端跳特征值。本发明对机械手重复定位精度进行检测，指导设备制造厂商的零部件选型和提高装备精度；对晶圆和真空卡盘在不同转速下的端跳变化规律进行检测。对工艺参数的优化也有着重要的指导作用。 |
| 申请日期 | 2019-04-18 |
| 语种 | 中文 |
| 状态 | 公开 |
| 源URL | [http://ir.sia.cn/handle/173321/27804]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业控制网络与系统研究室 |
| 作者单位 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金妮,徐皑东,刘明哲,等. 一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法. 2020-10-27. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
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