面向半导体制造设备的数据采集实现方法
文献类型：专利
| 作者 | 刘明哲 ; 徐皑冬; 叶家发; 王亚楠
|
| 发表日期 | 2014 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | CN103491059A |
| 专利类型 | 发明 |
| 产权排序 | 1 |
| 权利人 | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 其他题名 | Data collection implementation method of semiconductor manufacturing equipment |
| 中文摘要 | 本发明涉及一种面向半导体制造设备的数据采集实现方法，步骤为：分别在客户和设备服务端建立Web服务，Web通信中使用代理类；基于安全套接层协议的客户安全认证；自定义SOAPHeader数据格式；建立设备信息数据库；使用委托代理的方式处理设备中各种事件异常；创建数据采集计划的状态机，实现数据采集计划的行为转换；使用COM组件，完成设备端与设备控制系统的连接。本发明为半导体制造提供了通用设备数据采集方法，提高了半导体生产制造中生产者与工厂设备之间的数据采集能力。 |
| 是否PCT专利 | 否 |
| 英文摘要 | The invention relates to a data collection implementation method of semiconductor manufacturing equipment. The data collection implementation method comprises the steps: respectively building a Web service at a client terminal and an equipment server terminal, enabling a proxy class to be used in Web communication, conducting client safety certification based on a security socket layer, defining a SOAPHeader data format, building an equipment information database, using an agent entrustment mode to process various abnormal events in the equipment, building a state machine of a data collection plan, achieving behavior conversion on the data collection plan, and using a COM assembly to complete connection between the equipment terminal and an equipment control system. According to the data collection implementation method, a general equipment data collection method is provided for semiconductor manufacturing, and the data collection capacity between a producer and the equipment in a plant in semiconductor production and manufacturing is improved. |
| 申请日期 | 2012-06-12 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN201210193136.X |
| 专利代理 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 |
| 源URL | [http://ir.sia.ac.cn/handle/173321/14139]  |
| 专题 | 沈阳自动化研究所_工业控制网络与系统研究室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘明哲,徐皑冬,叶家发,等. 面向半导体制造设备的数据采集实现方法. CN103491059A. 2014-01-01. |
入库方式： OAI收割
来源：沈阳自动化研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。