机构

• 半导体研究所 [2]
• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2017 [3]

学科主题

• 半导体器件 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 存缴方式：oaiharvest    发表日期：2017     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 氮化铝MEMS面内伸缩模态谐振器（CMR）的研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2017 侯云虹 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/06/01 射频MEMS谐振器的真空封装技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 赵继聪 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/05/31 RF MEMS谐振器+真空封装+寄生效应+金锡焊料+频率稳定性   微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势 期刊论文  OAI收割 High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束, 2017, 卷号: 29, 期号: 8, 页码: 80201 作者:  高杨;  雷强;  赵俊武;  吕军光   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/08/27 谐振器  谐振频率  灵敏度