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  • 上海微系统与信息技术... [1]
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  • 1986 [1]
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Recrystallization of polycrystalline silicon films by Ar+ laser irradiation 期刊论文  OAI收割
CHINESE PHYSICS, 1986, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 661-664
LIN, CL(林成鲁); SHEN, ZY; FANG, F; LIN, ZX; ZON, SC(邹世昌)
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