机构

• 力学研究所 [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 会议论文 [2]

发表日期

• 2001 [2]

学科主题

• 半导体材料 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2001    内容类型：会议论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Fabrication and nanostructured surface layers of Al alloy by surface vibrational mechanical attrition 会议论文  OAI收割 Symposium on Advances in Surface Engineering - Fundamentals and Applications held at the 2001 MRS Fall Meeting, BOSTON, MA, NOV 26-29, 2001 作者:  Wu XL(武晓雷);  Hong YS(洪友士);  Lu J;  Lu K 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/06/30 Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD 会议论文  OAI收割 1st international conference on cat-cvd (hot wire cvd) process, kanazawa, japan, nov 14-17, 2000 Feng Y; Zhu M; Liu F; Liu J; Han H; Han Y 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/11/15 poly-Si  structure  hot-wire  plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)  CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION  MICROCRYSTALLINE SILICON  HYDROGEN