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机构
半导体研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2002 [1]
学科主题
半导体材料 [1]
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浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
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限定条件
发表日期:2002
学科主题:半导体材料
条数/页:
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Nanofabrication of grid-patterned substrate by holographic lithography
期刊论文
OAI收割
journal of crystal growth, 2002, 卷号: 236, 期号: 1-3, 页码: 141-144
Huang CJ
;
Zhu XP
;
Li C
;
Zuo YH
;
Cheng BW
;
Li DZ
;
Luo LP
;
Yu JZ
;
Wang QM
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提交时间:2010/08/12
etching
nanostructures
substrates
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