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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• OAI收割 [1]

内容类型

• 会议论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2005    内容类型：会议论文     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于低温键合技术制备SOI材料的研究 会议论文  OAI收割 第十四屇全国半导体集成电路、硅材料学术年会, 2005 詹达; 马小波; 刘卫丽; 宋志棠; 林梓鑫; 沈勤我 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2012/01/18 SOI材料 等离子体活化 键合强度 低温键合