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• 上海微系统与信息技术... [1]

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内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

学科主题

• Physics, M... [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2006    学科主题：Physics, Multidisciplinary     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Electromigration in Al interconnects and the challenges in ultra-deep submicron technology 期刊论文  OAI收割 ACTA PHYSICA SINICA, 2006, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 5424-5434 Zhang, WJ(张文杰）; Yi, WB（易万兵）; Wu, J（吴瑾） 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/24 THIN-FILMS  TRANSPORT MECHANISMS  DUAL-DAMASCENE  ALUMINUM FILMS  TEXTURE  GROWTH  GRAIN  TI  RELIABILITY  UNDERLAYER