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  • 会议论文 [3]
发表日期
  • 2017 [3]
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Low Temperature and Low Pressure Plasma for the HWR Superconducting Cavity In-situ Cleaning 会议论文  OAI收割
Lanzhou, China, 2017
作者:  A.D.Wu;  W.Chang;  H.Guo;  Y.He;  C.L.Li
  |  收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2018/03/14
The Effect of Process Parameters on the Surface Properties of Niobium During Plasma Etching 会议论文  OAI收割
Lanzhou, China, 2017
作者:  J.J.Peshl;  S.Popović;  L.Vušković
  |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2018/03/14
Plasma-enhanced ALD System for SRF Cavity 会议论文  OAI收割
Lanzhou, China, 2017
作者:  S.Kato;  H.Hayano
  |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/03/14