中国科学院机构知识库网格
Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid
首页
机构
成果
学者
登录
注册
登陆
×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
校外用户登录
CAS IR Grid
机构
半导体研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2002 [1]
2001 [1]
学科主题
半导体材料 [2]
筛选
浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
帮助
限定条件
学科主题:半导体材料
内容类型:会议论文
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
题名升序
题名降序
提交时间升序
提交时间降序
作者升序
作者降序
发表日期升序
发表日期降序
Heteroepitaxial growth and annealing of gamma-Al2O3 thin films on silicon
会议论文
OAI收割
symposium on silicon-based heterostructure materials held at the 8th iumrs international conference on electronic materials (iumrs-icem2002), xian, peoples r china, jun 10-14, 2002
Tan LW
;
Wang J
;
Wang QY
;
Yu YH
;
Lin LY
收藏
  |  
浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2010/11/15
EPITAXIAL-GROWTH
AL2O3
SI
Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD
会议论文
OAI收割
1st international conference on cat-cvd (hot wire cvd) process, kanazawa, japan, nov 14-17, 2000
Feng Y
;
Zhu M
;
Liu F
;
Liu J
;
Han H
;
Han Y
收藏
  |  
浏览/下载:20/0
  |  
提交时间:2010/11/15
poly-Si
structure
hot-wire
plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
MICROCRYSTALLINE SILICON
HYDROGEN