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机构
上海微系统与信息技术... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2008 [1]
2007 [1]
2004 [1]
学科主题
Optics [3]
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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学科主题:Optics
专题:上海微系统与信息技术研究所
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Optical fiber accelerometer based on MEMS torsional micromirror - art. no. 68360Q
期刊论文
OAI收割
MEMS/MOEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS III, 2008, 卷号: 6836, 页码: Q8360-Q8360
Zeng, FL
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Zhong, SL
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Xu, J
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Wu, YM
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提交时间:2011/12/17
SENSORS
A novel hinged micromachined high-g piezoresistive accelerometer - art. no. 642306
期刊论文
OAI收割
INTERNATIONAL CONFERENCE ON SMART MATERIALS AND NANOTECHNOLOGY IN ENGINEERING, PTS 1-3, 2007, 卷号: 6423, 页码: 42306-42306
Fan, KB
;
Xiong, B
;
Che, LF
;
Wang, YL
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2011/12/17
FABRICATION
SENSORS
Design and fabrication of a novel optically readable thermal imaging system based on MEMS technology
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES, 2004, 卷号: 23, 期号: 2, 页码: 125-130
Feng, F
;
Jiao, JW
;
Xiong, B
;
Wang, YL
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提交时间:2011/12/20
SENSORS