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• 沈阳自动化研究所 [2]

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• OAI收割 [2]

内容类型

• 会议论文 [2]

发表日期

• 2011 [2]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：沈阳自动化研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Neural Network Predictive R2R Control to CMP Process 会议论文  OAI收割 2011 4th IEEE International Conference on Computer Science and Information Technology, Chengdu, China, June 10-12, 2011 作者:  Wang L(王亮);  Hu JT(胡静涛) 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/06/06 chemical mechanical polishing  RBF neural network  predictive control  run-to-run control  PSO rolling optimization   Fuzzy predictive R2R control to CMP process 会议论文  OAI收割 2011 IEEE International Conference on Computer Science and Automation Engineering, CSAE 2011, Shanghai, China, June 10-12, 2011 作者:  Wang L(王亮);  Hu JT(胡静涛) 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/06/06 Chemical mechanical polishing  Clustering algorithms  Computer science  Controllers  Industrial applications  Mathematical models  Polishing  Predictive control systems  Semiconductor device manufacture  Stripping (removal)