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机构
上海微系统与信息技术... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
成果 [3]
发表日期
2008 [1]
2003 [1]
2001 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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内容类型:成果
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湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器及其结构
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2008
熊斌
;
朱建军
;
车录锋
;
王跃林
收藏
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2013/04/12
自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的红外探测器
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2003
熊斌
;
王跃林
;
徐峥谊
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/04/12
微机械热电堆红外探测器的制造方法
成果
OAI收割
鉴定: 无, 2001
熊斌
;
徐峥谊
;
王跃林
;
王渭源
;
戈肖鸿
收藏
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提交时间:2013/04/12