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上海应用物理研究所 [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2020 [1]
2015 [1]
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共2条,第1-2条
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内容类型:期刊论文
专题:上海应用物理研究所
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Nanofabrication of 50 nm zone plates through e-beam lithography with local proximity effect correction for x-ray imaging
期刊论文
OAI收割
CHINESE PHYSICS B, 2020, 卷号: 29, 期号: 4, 页码: -
作者:
Zhu, JY
;
Zhang, SC
;
Xie, SS
;
Xu, C
;
Zhang, LJ
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提交时间:2021/09/06
Simulation and experimental study of aspect ratio limitation in Fresnel zone plates for hard-x-ray optics
期刊论文
OAI收割
APPLIED OPTICS, 2015, 卷号: 54, 期号: 32, 页码: 9630—9636
作者:
Liu, JP
;
Shao, JH
;
Zhang, SC
;
Ma, YQ
;
Taksatorn, N
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提交时间:2016/03/04
ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY
HIGH-EFFICIENCY
RESOLUTION
FABRICATION
MICROSCOPY
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