机构

• 电子学研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [2]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]
• 1987 [2]

学科主题

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：电子学研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 新型微波ECRPECVD装置的研制 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报, 2004, 卷号: 24, 期号: 1, 页码: 33-36 阴生毅，陈光华，粟亦农，张永清 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/09/02 电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积 波导 磁场 永磁体 Si:H薄膜   微波等离子体基本特性及其在CVD法沉积金刚石簿膜中的应用研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 1987 俞辉 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2011/07/19 微波等离子体基本特性及其在CVD法沉积金刚石簿膜中的应用研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 1987 俞辉 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2011/07/19